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澳门新甫京娱乐娱城平台发布2大重磅新品:第一代iTronix®系列CVD薄膜沉积设备


629日,全球最大规模、最具影响力的半导体盛会——SEMICON China 2023在上海精彩揭幕。活动现场,澳门新甫京·娱乐娱城(认证Xpj平台)-ios/Android版(股票代码688147,简称澳门新甫京娱乐娱城平台)携2大重磅新品亮相,正式发布了澳门新甫京娱乐娱城平台自主研发的第一代iTronix®系列CVD薄膜沉积设备。这标志着澳门新甫京娱乐娱城平台在半导体薄膜沉积领域取得又一新突破,也是澳门新甫京娱乐娱城平台多元化布局激活增长新动能的关键一步。



iTronix® PE系列等离子体增强化学气相沉积镀膜系统,可沉积相应不同种类薄膜,可应用于逻辑、存储、先进封装、显示器件以及化合物半导体等领域的芯片制造。同时,该新型平台可安装更多反应腔以满足高产能需求。


iTronix® LP系列低压化学气相沉积镀膜系统,采用特别设计的反应腔室和电气软件集成化服务,在逻辑芯片、DRAM芯片、NAND芯片等领域具有广泛应用,可满足SiGep-Sidoped a-SiSiO2SiN等薄膜沉积工艺的开发与应用需求。


作为国内原子层沉积(ALD)技术的龙头企业,澳门新甫京娱乐娱城平台深耕高端薄膜沉积设备领域多年,ALD产品营收规模方面位居国内同类企业第一,多款半导体ALD设备覆盖逻辑、存储、化合物半导体、新型显示等细分应用领域,关键工艺指标已达到国际先进水平。

创新驱动,引领未来。澳门新甫京娱乐娱城平台此次推出的iTronix® 系列CVD薄膜沉积设备,是澳门新甫京娱乐娱城平台创新之路的又一里程碑,大大丰富了产品矩阵,奠定了澳门新甫京娱乐娱城平台以ALD技术为核心,CVD等多种真空薄膜技术梯度发展的战略定位。目前,澳门新甫京娱乐娱城平台iTronix® 系列CVD薄膜沉积设备已获得客户订单,设备验证进展顺利。未来,澳门新甫京娱乐娱城平台将为客户提供更多选择、更卓越的定制化解决方案,在薄膜沉积设备领域持续发力。


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